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芯片生产用超纯水的三种工艺


来源:内蒙古水处理设备公司  作者:内蒙古水处理工程师  日期:2020-08-04 14:03:31

  芯片是半导体元件的总称,芯片制作过程包括芯片设计、晶片制作、封装制作、测试等几个环节,其中晶片制作过程尤为的复杂。芯片生产的过程处处都离不开水,在生产过程中需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。下面小编就为大家介绍三种芯片生产用超纯水工艺流程:

  1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:

  原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

  2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:

  原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

  3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,其基本工艺流程为:

  原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

  莱特莱德专注电子超纯水领域,是集研发设计、设备制造、工程施工、运营维护为一体的环保解决方案服务商。企业通过ISO9001、ISO14001、OHSAS18001三大体系认证以及欧盟CE认证,拥有多项超纯水专用膜技术,针对高精密机械、硅片、科研仪器等产品清洗用水制备。

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